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레이저를 이용한 새로운 나노제조 공정

RAPID 식각의 모식도.소형 패턴을 제조하는 기술은 컴퓨터 칩의 제조 및 기타 나노테크놀러지 분야의 핵심이라 말할 수 있다. 하지만, 광범위하게 사용되고 있는 공정인 광식각법(photolithography)을 통해 보다 작은 형태를 제조하기 위해선 극자외선(ultraviolet light)이 필요한데, 이러한 광원 시스템은 작업이 쉽지 않으며 고가라는...
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Fireproofing

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