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질화물계 LED용 기판 소재의 기술동향

질화물계 LED용 기판 소재의 기술동향.pdf   녹색기술 개발을 통하여 에너지를 절약하고 CO2 가스 발생량을 줄이는 신성장동력 기술로서 질화물계 LED 생산과 개발은 대단히 중요한 기술이다. 질화물계 LED 핵심 소재는 (C2H5)3Ga, (CH3)3In, (CH3)3Al 등의 금속 유기화합물과 사파이어, SiC, AlN. GaN ...
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